四探針電阻率測(cè)試工作原理工作原理及組成部分

四探針測(cè)試儀的測(cè)試?yán)碚撘呀?jīng)相當(dāng)成熟，依據(jù)的理論是范德堡原理，采用的是直流四探針測(cè)試法，如圖1所示，是用針距為1mm的四根探針同時(shí)壓在樣品的表面上，利用恒流源給外面的1，4探針通過電流，再從2，3探針上測(cè)量出電位差，經(jīng)過相關(guān)運(yùn)算得到材料的電阻率.當(dāng)四根探針排成一直線時(shí)，并施加一定壓力在半導(dǎo)體上時(shí)，則半導(dǎo)體的材料電阻率：ρ=CV/I （Ω·cm）

式中C為探針修正系數(shù)，cm，當(dāng)針間距確定后是一個(gè)常數(shù)，與樣品無關(guān)，V₂₃為2，3針間的電壓，V；I為通過的電流，mA.